真空抽气机组可分为低真空抽气机组、中真空抽气机组、高真空抽气机组、超高真空抽气机组、无油真空抽气机组等。真空机组的名称以主泵命名。低真空抽气机组的主要特点是工作压力高、排气量大,但抽速比高真空抽气机组低,多用于真空室的粗抽以及放气量很大、工作压力高的真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥、真空脱气(钢水处理)等装置中。低真空抽气机组的主泵常用往复式真空泵、油封式机械泵、干式机械泵、水喷射泵、水蒸气喷射泵、水环泵等直排大气真空泵,使用低真空抽气机组,还需要根据被抽气体的清洁程度、湿度或其他特殊要求,配置必要的除尘器、水气分离器、油水分离器、干燥阱等部件。油封机械泵不适于抽除含有大量水蒸气的气体。水蒸气在压缩过程中会凝结成水滴,并与泵油混合形成悬浮液,破坏泵的抽气性能使泵的真空度下降。一般采取的措施有:使用带有气镇装置的油封机械泵,并将泵的工作温度控制在75~90℃之间,以减少气镇阀负担:在机组中安装水汽分离器或油水分离装置,处理混有水的机械泵油,处理过的油再进入泵中使用;用各种干燥吸附剂或者油捕滤芯做成捕集阱吸收水蒸气;使用各种冷凝器或冷阱,不仅能有效地吸附水蒸气,同时还可以阻挡机械泵向线为油封机械泵低线为油封机械泵加挡油阱的低真空抽气组，适用于化学气相沉积装置、真空包装、医药工业领域。

　　中真空抽气机组常用的主泵有油增压泵、罗茨泵(机械增压泵)等,适用于需要大抽速和获得中真空的各种真空系统中,可广泛用于镀膜机、真空冶炼、真空热处理、化工、医药、电工、焊接等行业。

　　图12—6所示为以罗茨泵为主泵,油封机械泵为前级泵的中真空抽气机组。整套机组可安置在一个机架上,结构紧凑,使用方便。

　　作为主泵的罗茨真空泵,可选择 Z 型普通罗茨泵,也可选用带旁通阀罗茨泵。前者须在系统被前级泵抽到罗茨泵允许启动压力时大能启动主泵工作;后者由于带旁通阀,罗茨泵在较高入口压力时运转不发生过载和过热,因此主泵可以在前级泵工作后,根据系统的实际 情况来决定它的启动压力。对于小型机组,还可以两泵同时启动,以 加大抽速和缩短抽气时间。

　　图12—7所示为罗茨泵—水环泵机组,它适合抽除含有大量水蒸气的气体,如真空浓缩、真空干燥,特别适宜于弱酸气体及含有少量细微粉尘气体的抽除。对于粉尘或水蒸气量较少的工作环境,水环泵可以直接通过罗茨泵泵腔对系统进行粗抽(见图1—10a);如果被抽容器中(或真空工艺进行中)的粉尘(水蒸气)量较大,则需要另设旁通粗抽管道(见图1—10b)。

　　为了提高真空机组的抽气性能,达到较低的极限压力和改善低入口压力时的抽速特性,对大型真空机组配用较小规格的前级泵,可以组成由两个罗茨泵串联作为主泵的三级抽气机组,如图12—8和图12-9所示。双级罗茨泵加油封机械泵机组可以获得比双级罗茨泵加水环泵机组更低的极限压力,但是后者更适合在粉尘或水蒸气量较大的环境下抽气。

　　高真空抽气机组工作在分子流状态下,与低真空抽气机组相比,其特点是工作压力较低(10—1Pa~10— 5Pa )、排气量小、抽速大。机组的主泵通常为扩散泵、扩散增压泵、分子泵、钛升华泵、低温冷凝泵等。这些泵不能直接对大气工作,因此需要配置粗抽泵和前级泵。有些高真空抽气机组的扩散泵还配有前级维持泵或贮气罐,以防止气体压力波动,改善机组的抽气性能。

　　超高线Pa的超高真空压力范围内,除了要求真空室的材料出气率很低、漏气率很小、能经受200~450℃高温烘烤外,对机组的要求还有:

　　(6)机组主泵进气口以上的管道、阀门等部件,对材料的选格和密封要特别慎重。一般采用出气率较低的不锈钢和金属密封材料以耐高温烘烤。